微型傳感器是利用微機械加工技術(shù)制造的新型傳感器。相比于傳統(tǒng)傳感器元件,這一類別的傳感器憑借其質(zhì)輕體小、靈敏可靠、易于集成等優(yōu)良特性,成為推動傳感器不斷向微型和智能化發(fā)展的主要動力;同時也被各大制造商和用戶所青睞。
微型傳感器有以下五個發(fā)展趨勢:
1、無源化。
傳感器是將非電量轉(zhuǎn)換成電量的設(shè)備,電源是傳感器中不可或缺的重要部分,把太陽能或風(fēng)能用芯片收集起來,轉(zhuǎn)換成傳感器所需的電源,無線傳感模塊和芯片的有效結(jié)合將會實現(xiàn)MEMS的無源化。
2、微型化。
大眾越來越青睞便攜式、可佩戴式迷你型設(shè)備,消費者需求小型化傳感器,集成技術(shù)和納米技術(shù)將推進微型傳感器的發(fā)展。
3、低成本。
傳感器往往有成千上萬的網(wǎng)絡(luò)節(jié)點數(shù),控制不好單個網(wǎng)絡(luò)節(jié)點數(shù)的價格致使傳感器網(wǎng)絡(luò)成本很高。解決好網(wǎng)絡(luò)結(jié)點數(shù)并且實用化,助推傳感器網(wǎng)絡(luò)化。
4、安全性和抗干擾能力。
穩(wěn)定性是衡量傳感器性能好壞的重要指標(biāo)。
傳感器網(wǎng)絡(luò)和其他網(wǎng)絡(luò)一樣也會面臨安全威脅。怎樣利用最經(jīng)濟合理的手段實現(xiàn)傳感器網(wǎng)絡(luò)安全,微型傳感器受到外界干擾時,還能穩(wěn)定可靠的工作將是發(fā)展趨勢。
5、節(jié)點實現(xiàn)自診斷、自動配置。
由于傳感器網(wǎng)絡(luò)中節(jié)點數(shù)多,工作時當(dāng)節(jié)點出現(xiàn)故障時,能夠迅速找到故障點并且不影響網(wǎng)絡(luò)的正常使用。將是MEMS 研究的方向。
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