電容式壓力傳感器是一種壓力傳感器，它利用電容敏感元件將被測(cè)壓力轉(zhuǎn)關(guān)系的電力輸出的壓力傳感器。一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的電極。當(dāng)薄膜感受到壓力并變形時(shí)，薄膜與固定電極之間形成的電容發(fā)生變化，通過測(cè)量電路可以輸出與電壓有一定關(guān)系的電信號(hào)。電容式壓力傳感器屬于極變電容式傳感器，可分為單電容式壓力傳感器和差動(dòng)電容式壓力傳感器。

它由圓膜和固定電極組成。薄膜在壓力的作用下變形，從而改變電容器的容量。其靈敏度大致與薄膜的面積和壓力成正比，與薄膜的張力從薄膜到固定電極的距離成反比。另一種類型的固定電極呈凹形球形，膜片為固定在周圍的張緊平面，可采用塑料鍍金屬層制成。該類型適用于低壓測(cè)量，過載能力高。單電容式壓力傳感器也可以用帶活塞動(dòng)極膜片來測(cè)量高壓。這種類型可以減少膜片的直接受壓面積，從而使用較薄的膜片來提高靈敏度。為了提高抗干擾能力，它還與各種補(bǔ)償和保護(hù)部門和放大電路封裝在一起。該傳感器適用于測(cè)量動(dòng)態(tài)高壓和遙測(cè)飛機(jī)。單電容式壓力傳感器還有傳聲器式(即麥克風(fēng)式)和聽診器式。差動(dòng)電容式壓力傳感器。

壓力膜片電極位于兩個(gè)固定電極之間，形成兩個(gè)電容器。在壓力的作用下，一個(gè)電容器的容量增加，另一個(gè)電容器相應(yīng)減小，測(cè)量結(jié)果由差動(dòng)電路輸出。其固定電極由凹曲玻璃表面鍍金屬層制成。過載時(shí)，膜片受凹面保護(hù)而不破裂。差動(dòng)電容式壓力傳感器比單電容式靈敏度高，線性好，但加工難度大(尤其是對(duì)稱性難以保證)，無法隔離被測(cè)氣體或液體，不適合在腐蝕性或雜質(zhì)流體中工作。

電容力傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，靈敏度高，動(dòng)態(tài)響應(yīng)快，但由于電荷泄漏難以避免，不適合靜態(tài)力測(cè)量（電容力傳感器的結(jié)構(gòu)原理）。

在矩形的特殊彈性元件上，加工幾個(gè)連通的圓孔，每個(gè)圓孔固定兩個(gè)端面平行的丁字電極，每個(gè)電極粘貼銅箔，形成由多個(gè)平行板電容器并聯(lián)組成的測(cè)量電路。在力F的作用下，彈性元件的變形改變了極板間矩，從而改變了電容。